气体质量流量计【简称MFM】基于内部补偿型*层流压差技术，内置压力和温度传感器，能充分补偿因温度和压力引起的体积流量和质量流量间的差异，可快速精确测量过程气体的实时温度、压力、工况流量、标况流量和累计流量五大参数。用于精确和快速测量气体流量、泄露率检测或作为标准表进行量值传递与校准等。
特征：
原理：层流压差式原理
便捷操作：可触屏点击操作、读取流量，或者提供上位机软件操作。
核心优势：高精度、高重复性、快速响应
宽温度、宽压力适用范围：-20℃~60℃、1Mpa以内
实时显示5种过程变量
内置49种气体，，一键自由切换气体，无需查找、输入系数，并可自主编辑混合气体
无需预热时间，开机即可使用，即插即用。
产品规格：
产品型号：
S系列-带触摸屏系列流量计，可触屏操作读取数据，方便工况现场使用，无需电脑，像手机一样方便。
M系列：无屏幕系列流量计，可通过上位机软件操作、读取数据，适用配套用户，软件可同时测控16台流量计或控制器。
量程范围：0.5sccm~5000spm
性能参数：
精度：±1.0%RD , ± 0.5%RD
重复精度：±0.2%F.S. ±0.1%F.S.
压力漂移：Zero：≤±0.2%F.S./100Kpa； Span：≤±0.2%F.S./100Kpa（基准100KPa(绝压))
温度漂移：Zero：≤±0.02%F.S./℃； Span：≤±0.02%F.S./℃（基准温度20℃）
工作范围：1%~120%F.S.
响应时间：≤100ms.
启动预热时间：1s
使用条件：
介质温度：-20℃~60℃
环境温度：-20℃~50℃
使用湿度：0%~98%（无冷凝）
工作压力：0~1Mpa
耐压：1.5Mpa
压损：4kPa~12kPa
供电电压：24V±20%
消耗电流：＜150mA （＜5V）
安装方式：任意角度
接气部材质：SUS304，SUS316
进出口：管螺纹（内螺纹）
接气部密封材质：橡胶圈密封：氟橡胶
通讯方式：
数字信号：RS485，Profibus
模拟信号：4-20mA，0-5V
应用场景
配套流量校准平台的流量测量设备
实验中的气体流量测量
机械动力测试系统中的气体流量测量
材料制备实验中的中的气体流量测量
真空实验舱及真空试验系统中的气体流量测量
生物反应器实验装置中的气体流量测量
高精度实验仪器的研发和试制
分析测试仪器
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